FASENS: POLYTEC + GAIN-PHASE Messungen, Modenprofilaufnahme, Abgriff: optisch, Stahlträger geklebt. Si-Membran + ZnO-Schicht M7-2/3
experimental
sensor
frequency-analysis
resonance
silicon
mems
pressure-sensor
zno
bosch-sensor
microsystems
resonant-frequency
zinkoxid
-
Updated
Apr 17, 2024 - Pascal